ASML发货第一款革命性3D封装光刻机！分辨率400纳米、每小时270块晶圆
快科技10月22日消息，ASML(阿斯麦)宣布，已经向客户交付第一台专为先进封装应用开发的光刻机“TWINSCAN XT:260”，可用于3D芯片、Chiplets芯粒的制造与封装。...
zhiyongz
2025-10-24 08:06:45阅读：3
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