俄罗斯宣布自研EUV光刻机:比ASML更便宜、更容易制造!
快科技12月19日消息,据报道,俄罗斯已公布自主开发EUV(极紫外光刻)光刻机的路线图,目标是比ASML的光刻机更便宜、更容易制造。据悉,俄罗斯的自主光刻机采用11.2nm的激光光源,而非ASML...
zhiyongz
2024-12-19 20:54:43阅读:55
快科技12月19日消息,据报道,俄罗斯已公布自主开发EUV(极紫外光刻)光刻机的路线图,目标是比ASML的光刻机更便宜、更容易制造。据悉,俄罗斯的自主光刻机采用11.2nm的激光光源,而非ASML...